河南南樂蔡司三坐標掃描電鏡SEM分辨率主要有哪些影響因素

河南南樂蔡司三坐標掃描電鏡SEM分辨率主要有哪些影響因素

掃描電鏡(SEM)是處于透射電鏡和顯微鏡中間的一種外部經濟外貌觀查方式，可立即運用試品表層原材料的化學物質特性開展外部經濟顯像。掃描電鏡以其獨有的優勢，影響掃描電鏡(SEM)的幾個因素。 TKJMTYyMDQNTQxMzgxNzkMA.jpg 1、屏幕分辨率 影響掃描電鏡的分辨本領的關鍵要素有： A.出射離子束束斑直徑：為掃描電鏡分辨本領的極限。一般，熱陰極射線管的*小束斑直徑可變小到6nm，場發送射線管可使束斑直徑低于3nm。 B.出射離子束在試品中的拓展效用：蔓延水平在于出射束電子能量和試品質量數的多少。出射束動能越*，試品質量數越小，則離子束功效容積越大，造成數據信號的地區隨離子束的蔓延而擴大，進而減少了屏幕分辨率。 C.顯像方法及常用的調配數據信號：當以二次電子為調配數據信號時，因為其動能低(低于50eV)，平均自由程短(10~100nm上下)，僅有在表面50～100nm的深層范疇內的二次電子才可以逸出試品表層，產生透射頻次很比較有限，基本上未向側面拓展，因而，二次電子像屏幕分辨率等于束斑直徑。當以二次電子電子器件為調配數據信號時，因為二次電子電子能量較為*，透過工作能力強，可從試品中較深的地區逸出(約為合理功效深層的30%上下)。在這里深層范疇，出射電子器件現有了*寬的側面拓展，因此二次電子電子器件像屏幕分辨率要比二次電子像低，一般在500～2000nm上下。假如以消化吸收電子器件、X射線、負極瑩光、束感生電流氧化還原電位或電位差等做為調配數據信號的別的實際操作方法，因為數據信號來源于全部離子束透射地區，個人所得掃描儀像的屏幕分辨率都較為低，一般在l000nm或l0000nm之上不一。 2、變大倍率 掃描電鏡的變大倍率可表明為M=Ac/As 式中，Ac—顯示屏上圖象的周長; As—離子束在試品上的掃描儀震幅。 一般地，Ac是固定不動的(一般為100mm)，則可根據更改As來更改變大倍率?，F階段，大部分產品掃描電鏡變大倍率為20～20,000倍，處于顯微鏡和透射電鏡中間，即掃描電鏡填補了顯微鏡和透射電鏡變大倍率的空檔。 3、景深效果 景深效果就是指聚焦點前后左右的一個間距范疇，該范疇內附屬品點所成的圖象合乎屏幕分辨率規定，能夠成清楚的圖象;也即，景深效果是能夠被認清的間距范疇。掃描儀透射電鏡的景深效果比散射透射電鏡大10倍，比顯微鏡大十幾倍。因為圖象景深效果大，個人所得掃描儀電子器件像頗具層次感。離子束的景深效果在于臨界值分辨本領d0和離子束出射半角αc。 在其中，臨界值分辨本領與變大倍率相關，因人的眼睛的分辨本領約為0.2mm,變大后，要讓人覺得虛像清楚，務必使離子束的屏幕分辨率*過臨界值屏幕分辨率d0，離子束的傾斜角可根據更改光闌規格和工作中間距來調節，用小規格的光闌和大的工作中間距可得到 小的出射電子器件角。 4、襯度 包含：表層外貌襯度和質量數襯度。表層外貌襯度由試件表層的不整平性造成。質量數襯度指掃描儀離子束出射試祥時造成的二次電子電子器件、消化吸收電子器件、X射線，對微區域內質量數的差別*比較敏感。質量數越大，圖象越亮。二次電子受質量數的影響較小。*分子材料中各成分中間的均值質量數區別并不大;因此僅有—些獨特的*分子材料多組分管理體系才可以運用這類襯度顯像。